1. Асноўныя патрабаванні да рэзервуараў для захоўвання ў паўправадніковай прамысловасці
Вытворчасць паўправаднікоў уключае ў сябе шырокі спектр карозійных, высокачыстых тэхналагічных хімікатаў, у тым ліку фтарыднавадароднай кіслаты, салянай кіслаты, сернай кіслаты, перакісу вадароду і воднага аміяку, а таксама розных змешаных пратручвальнікаў і ачышчальных сродкаў. Рэзервуары для захоўвання гэтых хімічных рэчываў павінны адпавядаць тром асноўным патрабаванням, якія не падлягаюць абмеркаванню:
Кантроль звышвысокай чысціні: вымыванне іёнаў металаў неабходна кантраляваць да ўзроўню ніжэй за 0,1–1 частак на мільярд, а агульнае вымыванне арганічнага вугляроду (TOC) павінна быць вельмі нізкім, каб прадухіліць сляды забруджвання, якія могуць выклікаць дэфекты пласцін і збоі ў ланцугу.
Абсалютная хімічная інэртнасць: Матэрыялы падкладкі не павінны ўступаць у рэакцыю з моцнымі кіслотамі, моцнымі асновамі, акісляльнікамі або растваральнікамі высокай чысціні, растварацца ў іх або пранікаць імі, што забяспечвае стабільнасць зыходнага хімічнага складу і канцэнтрацыі тэхналагічных рэагентаў.
Доўгатэрміновая структурная стабільнасць: Пакрыцці павінны дэманстраваць устойлівасць да вакуумнага выдзялення газаў, тэрмічнага цыклу і доўгатэрміновай карозіі пры апусканні, каб выключыць такія рызыкі, як шчылінная карозія, расслаенне пакрыцця і ўцечка ў высокадакладных вытворчых асяроддзях.